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工业VOCs有机废气进入光氧活性炭一体机时，首先进入光氧催化设备内部，UV紫外线光氧催化设备再通过破坏、分解、催化氧化把污染气体分解为无毒无害无味气体。采用高能C波段光线强裂污染气体分子链，改变物质分子结构，将高分子污染物质裂解、氧化成为低分子无害物质，如水和二氧化碳等。在分解过程中产生高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧),众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对恶臭气体及其它刺激性异味有极强的清除效果。同时紫外线光也具有消毒和杀菌的作用。
未被光氧设备分解的VOCs有机废气依次进入活性炭吸附箱。正蓝活性炭采用的是蜂窝式的块状活性炭， 主要由含炭材料制成的外观呈黑色，内部孔隙结构发达、比表面积大、吸附能力强的一类微晶质炭素材料。活性炭具有大量肉眼看不见的微孔，这些微孔就像人体的毛细血管，具有较大的比表面积。举例来说在一个米粒大小的活性炭颗粒中，微孔的内表面积可能相当于一个客厅面积的大小。活性炭具大的比表面积使活性炭拥有了优良的吸附性能，能将有机废气牢牢的吸附在自己周围，并能将废气进行有效的吸附，活性炭会源源不断的对废气进行吸附，直到活性炭吸附饱和为止。
光氧活性炭一体机是一种新兴的成套废气处理设备，它综合采用了光氧设备和活性炭吸附箱的优点组合而成。